[发明专利]一种钕铁硼合金镀层厚度的测定方法在审
| 申请号： | 201510957009.6 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN106895801A | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏宇;聂帅;田佳;刘兵;李娜 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01N27/68 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司11100 | 代理人： | 刘徐红 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钕铁硼合金镀层厚度的测定方法，属于镀层检测技术领域。用无水乙醇清洗钕铁硼合金镀层表面，氮气吹干；采用辉光放电质谱法对合金镀层进行全元素定性测定，判定其镀层种类；调整GD-MS仪器放电电流为20mA、放电气体Ar流量为400mL/min，对各镀层采用相应的透镜参数；对合金镀层进行不间断溅射，每隔15秒收集1次数据，直至Fe元素含量出现直线上升，停止溅射；用所得数据绘制元素质量分数-溅射时间分布图，从图上找出各层交界点，得到在每层镀层中的溅射时间；由各层的溅射速率和溅射时间，计算每个镀层厚度。本发明方法简单易操作，准确度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钕铁硼 合金 镀层 厚度 测定 方法 | ||
【主权项】：
一种钕铁硼合金镀层厚度的测定方法，包括步骤如下：(1)用无水乙醇清洗钕铁硼合金镀层表面，氮气吹干；采用辉光放电质谱法对合金镀层进行全元素定性测定，判定其镀层种类；(2)调整GD‑MS仪器放电电流为20mA、放电气体Ar流量为400mL/min，对各镀层采用相应的透镜参数；对合金镀层进行不间断溅射，每隔15秒收集1次数据，直至Fe元素含量出现直线上升，停止溅射；(3)用所得数据绘制元素质量分数‑溅射时间分布图，从图上找出各层交界点，得到在每层镀层中的溅射时间；(4)由各层的溅射速率和溅射时间，计算每个镀层厚度。
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