[发明专利]单体、聚合物、抗蚀剂组合物和图案化方法有效
| 申请号： | 201510955723.1 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105717744B | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 提箸正义;长谷川幸士;片山和弘;畠山润 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F220/28;C08F220/32;C08F220/38;C07C69/533;C07C69/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供具有多个叔醇羟基的单体。通过将该单体聚合而得到的有用的聚合物。由包含该聚合物的抗蚀剂组合物，以高分辨率形成在碱显影剂中不可溶并且具有高耐蚀刻性的负型图案。 | ||
| 搜索关键词： | 单体 聚合物 抗蚀剂 组合 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信越化学工业株式会社，未经信越化学工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510955723.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
