[发明专利]助于光谱信号收集的装置、光谱信号系统及半导体设备在审
| 申请号： | 201510882148.7 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN106840392A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 肖德志 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28;G05D25/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种助于光谱信号收集的装置、光谱信号系统及半导体设备。该助于光谱信号收集的装置包括透镜、筒体和可调通光件；其中，筒体，不透明且可长度可调；透镜，安装在筒体的一端；可调通光件，其上设置有开口且开口的大小可调，安装在筒体的另一端。本发明提供的助于光谱信号收集的装置，可以有效地抑制本地噪声且避免收集到的光谱信号强度过饱和，有助于收集到所需高信噪比的光谱信号，因此，光谱信号系统能够监测工艺过程中的微小变化，也就能够精确地控制工艺过程，从而可以提高半导体设备的控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 信号 收集 装置 信号系统 半导体设备 | ||
【主权项】：
一种助于光谱信号收集的装置，其特征在于，所述装置包括透镜、筒体和可调通光件；所述筒体，不透明且长度可调；所述透镜，安装在所述筒体的一端；所述可调通光件，其上设置有开口且开口的大小可调，安装在所述筒体的另一端。
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