[发明专利]助于光谱信号收集的装置、光谱信号系统及半导体设备在审
| 申请号： | 201510882148.7 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN106840392A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 肖德志 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28;G05D25/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光谱 信号 收集 装置 信号系统 半导体设备 | ||
1.一种助于光谱信号收集的装置，其特征在于，所述装置包括透镜、筒体和可调通光件；
所述筒体，不透明且长度可调；
所述透镜，安装在所述筒体的一端；
所述可调通光件，其上设置有开口且开口的大小可调，安装在所述筒体的另一端。
2.根据权利要求1所述的助于光谱信号收集的装置，其特征在于，所述可调通光件为可调光阑。
3.根据权利要求2所述的助于光谱信号收集的装置，其特征在于，所述可调光阑包括：孔径可调的孔状器件和手柄，
所述手柄与所述孔状器件相连接，以通过控制所述手柄调节所述孔状器件的孔径大小。
4.根据权利要求2所述的助于光谱信号收集的装置，其特征在于，所述可调光阑包括：孔径可调的孔状器件和外圈器件，
所述外圈器件与所述孔状器件螺纹连接，以通过转动所述外圈器件调节所述孔状器件的孔径大小。
5.根据权利要求1所述的助于光谱信号收集的装置，其特征在于，所述开口为狭缝状。
6.根据权利要求1所述的助于光谱信号收集的装置，其特征在于，所述可调通光件和/或所述透镜与所述筒体可拆卸安装。
7.一种光谱信号系统，其特征在于，包括助于光谱信号收集的装置，所述助于光谱信号收集的装置采用权利要求1-6任意一项所述的助 于光谱信号收集的装置。
8.根据权利要求7所述的光谱信号系统，其特征在于，还包括：
采集装置，用于采集光谱信号并发送至控制装置；
执行装置，与所述可调通光件相连接；
控制装置，用于根据所述采集装置发送的光谱信号和预设光谱信号参数控制所述执行装置调节所述可调通光件的开口大小。
9.根据权利要求8所述的光谱信号系统，其特征在于，所述采集装置包括光谱仪。
10.一种半导体设备，包括光谱信号系统，其特征在于，所述光谱信号系统采用权利要求7-9任意一项所述的光谱信号系统。
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