[发明专利]一种膜传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510840831.4 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105274475A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 马玉玲;陈小霞;朱卫东 | 申请（专利权）人： | 中山市厚源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/34;C23C14/58;C23C14/08;C23C14/30;C23C14/35;G01D21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528437 广东省中山市火炬开发*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种膜传感器及其制备方法，所述膜传感器自基板表面向外依次包括缓冲层、绝缘层、敏感层、防护层；所述基板为Ni基高温合金基板，缓冲层依次包括NiCrAlY合金过渡层、Al2O3热生长层、非晶YAlO过渡层，所述绝缘层材质为Al2O3，所述敏感层材质为TaN，所述防护层材质为Al2O3。本发明在NiCrAlY合金过渡层析铝氧化后，先采用反应溅射的方法沉积一层非晶YAlO 薄膜作为过渡层，然后再进行电子束蒸发沉积Al2O3绝缘层。且非晶YAlO薄膜在化学成分上与NiCrAlY合金层和Al2O3绝缘层均具有相似性，化学键合类型相近，同时非晶YAlO薄膜的热膨胀系数和热导率也处于NiCrAlY合金与Al2O3之间；因此非晶YAlO薄膜可在两者之间形成良好的过渡，有效改善薄膜界面的键合并提高薄膜的附着力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种膜传感器，所述膜传感器自基板（1）表面向外依次包括缓冲层、绝缘层（5）、敏感层（6）、防护层（7）；其特征在于：所述基板（1）为Ni基高温合金基板（1），缓冲层依次包括NiCrAlY 合金过渡层（2）、Al2O3热生长层（3）、非晶YAlO 过渡层（4），所述绝缘层（5）材质为Al2O3，所述敏感层（6）材质为TaN，所述防护层（7）材质为Al2O3。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山市厚源电子科技有限公司，未经中山市厚源电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510840831.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：Cu-Ga合金溅射靶
- 下一篇：防止热损伤的ITO薄膜制造方法及其制造装置
- 同类专利
- 专利分类
