[发明专利]电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计在审
| 申请号： | 201510784746.0 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN105600735A | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 田中信幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计。电子装置以及物理量传感器具有优异的可靠性，此外，压力传感器、高度计、电子设备以及移动体具备所涉及的电子装置。本发明的物理量传感器(1)具备：基板(2)；压敏电阻元件(5)，其被配置于基板(2)的一面侧；壁部，其以在俯视观察基板(2)时包围压敏电阻元件(5)的方式而被配置在基板(2)的一面侧；顶部，其相对于壁部而被配置于与基板相反的一侧，并同壁部一起构成空洞部(S)，在以横切壁部的剖面进行观察时，所述壁部具有绝缘层(631)和配线层(62、64)，配线层(62、64)以相互协同的方式包围绝缘层(631)，并且与绝缘层(631)相比，相对于能够对绝缘层(631)进行蚀刻的蚀刻液的耐性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 装置 物理量 传感器 压力传感器 以及 高度计 | ||
【主权项】：
一种电子装置，其特征在于，具备：基板；功能元件，其被配置在所述基板的一面侧；壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述功能元件的方式而被配置在所述基板的所述一面侧；顶部，其相对于所述壁部而被配置在与所述基板相反的一侧，并同所述壁部一起构成内部空间，所述壁部具有绝缘层和多个耐蚀层，多个所述耐蚀层与所述绝缘层相比相对于能够对所述绝缘层进行蚀刻的蚀刻液的耐性较高，在进行与所述基板交叉的方向的剖视观察时，多个所述耐蚀层相互连接并被配置在所述绝缘层的周围。
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