[发明专利]电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计

权利要求书

1.一种电子装置，其特征在于，具备：

基板；

功能元件，其被配置在所述基板的一面侧；

壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述功能元件的方式而被配置在 所述基板的所述一面侧；

顶部，其相对于所述壁部而被配置在与所述基板相反的一侧，并同所述 壁部一起构成内部空间，

所述壁部具有绝缘层和多个耐蚀层，多个所述耐蚀层与所述绝缘层相比 相对于能够对所述绝缘层进行蚀刻的蚀刻液的耐性较高，

在进行与所述基板交叉的方向的剖视观察时，多个所述耐蚀层相互连接 并被配置在所述绝缘层的周围。

2.如权利要求1所述的电子装置，其中，

多个所述耐蚀层在所述剖视观察时具有第一耐蚀层和第二耐蚀层，所述 第二耐蚀层相对于所述第一耐蚀层在两处被连接并同所述第一耐蚀层一起包 围所述绝缘层。

3.如权利要求2所述的电子装置，其中，

所述第一耐蚀层具有：

固定部，其被固定在所述基板上；

第一凸缘部，其从所述固定部向所述内部空间侧延伸，并与所述基板分 离；

第二凸缘部，其从所述固定部向与所述内部空间相反的一侧延伸，并与 所述基板分离，

所述第二耐蚀层具有：

第一连接部，其与所述第一凸缘部连接；

第二连接部，其与所述第二凸缘部连接。

4.如权利要求1至3中任一项所述的电子装置，其中，

所述耐蚀层包含金属。

5.如权利要求4所述的电子装置，其中，

所述金属包括铝。

6.如权利要求1至5中任一项所述的电子装置，其中，

所述绝缘层包含氧化硅。

7.如权利要求1至6中任一项所述的电子装置，其中，

所述基板具有隔膜部，所述隔膜部被设置于在俯视观察时与所述顶部重 叠的位置处，并通过受压而发生挠曲变形。

8.如权利要求7所述的电子装置，其中，

所述功能元件为通过变形而输出电信号的传感器元件。

9.一种物理量传感器，其特征在于，

具备权利要求7所述的电子装置，其中，所述功能元件为被配置于所述 隔膜部的一面侧的传感器元件。

10.一种压力传感器，其特征在于，

具备权利要求1至8中任一项所述的电子装置。

11.一种高度计，其特征在于，

具备权利要求1至8中任一项所述的电子装置。

12.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1至8中任一项所述的电子装置。

13.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1至8中任一项所述的电子装置。