[发明专利]石墨烯压力传感器及其制备方法和用途在审
| 申请号： | 201510780886.0 | 申请日： | 2015-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN105300574A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 金虎;彭鹏;王增奎;周振义;顾永强 | 申请（专利权）人： | 常州二维碳素科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期;杨勇 |
| 地址： | 213149 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石墨烯压力传感器及其制备方法，其特征在于，其至少由弹性衬底层、石墨烯压力感应层和封装层组成；其中所述弹性衬底层包含感应区、搭接区、电极区；所述石墨烯压力感应层附着在感应区上，且石墨烯压力感应层与电极区直接接触而形成搭接区；所述封装层覆盖石墨烯压力感应层及石墨烯压力感应层与电极区的搭接区。本发明的石墨烯压力传感器灵敏度高、稳定性好、预期使用寿命长，且其制作成本低、工艺简易、过程可控。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 压力传感器 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
一种石墨烯压力传感器，其至少由弹性衬底层、石墨烯压力感应层、封装层组成；其中所述弹性衬底层包含感应区、搭接区、电极区；所述石墨烯压力感应层附着在感应区上，且石墨烯压力感应层与电极区直接接触而形成搭接区；所述封装层覆盖石墨烯压力感应层及石墨烯压力感应层与电极区的搭接区。
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