[发明专利]一种提升光伏电池转换效率的方法

摘要

本发明公开了一种提升光伏电池转换效率的方法，属于光伏技术领域。光伏电池的制造包括清洗、扩散、刻蚀、PECVD、丝印烧结等工序。本发明通过增加扩散沉积步氧气和小氮气比例，提升光伏电池转换效率。为了扩散后方阻的均匀性不降低，同等比例地增加小氮气和氧气的流量。扩散后方阻通过四探针测试为85~105Ω/□。通过本发明，光伏转换效率可提升约0.1%。

主权项

一种提升光伏电池转换效率的方法，使用的硅片是电阻率为0.5~3 Ω▪cm的156mm×156mm规格的P型多晶硅片，常规酸制绒后再进行扩散，使用的扩散炉为荷兰的TEMPRESS，其特征为：具体步骤为：（1）进入：温度815 ℃，大N₂流量5 slm，O₂流量0 sccm，小N₂流量0 sccm，压力15 Pa，时间8 min；（2）进桨：温度815 ℃，大N₂流量5 slm，O₂流量0 sccm，小N₂流量0 sccm，压力15 Pa，时间8 min；（3）检漏：温度815 ℃，大N₂流量6.5 slm，O₂流量0 sccm，小N₂流量0 sccm，压力‑200 Pa，时间5 min；（4）升温：温度815 ℃，大N₂流量9.0 slm，O₂流量0 sccm，小N₂流量0 sccm，压力10 Pa，时间15 min；（5）前氧化：温度805 ℃，大N₂流量12.0 slm，O₂流量1000 sccm，小N₂流量0 sccm，压力10 Pa，时间2 min；（6）沉积：温度805 ℃，大N₂流量12.0 slm，O₂流量2.0 slm，小N₂流量2.0 slm，压力10 Pa，时间15 min；（7）后氧化：温度825 ℃，大N₂流量12.0 slm，O₂流量500 sccm，小N₂流量50 sccm，压力10 Pa，时间8 min；（8）推进：温度845 ℃，大N₂流量12.0 slm，O₂流量4500 sccm，小N₂流量0 sccm，压力10 Pa，时间9 min；（9）冷却：温度800 ℃，大N₂流量12.0 slm，O₂流量0 sccm，小N₂流量0 sccm，压力10 Pa，时间1 min；（10）进桨：温度800 ℃，大N₂流量5.0 slm，O₂流量0 sccm，小N₂流量0 sccm，压力5 Pa，时间8 min；（11）退出：温度800 ℃，大N₂流量5.0 slm，O₂流量0 sccm，小N₂流量0 sccm，压力5 Pa，时间13 min。