[发明专利]一种提升光伏电池转换效率的方法在审

专利信息
申请号: 201510761103.4 申请日: 2015-11-10
公开(公告)号: CN105261676A 公开(公告)日: 2016-01-20
发明(设计)人: 曹江伟;蒋洋洋;王晗;易敏华 申请(专利权)人: 江西展宇新能源股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 江西省专利事务所 36100 代理人: 杨志宇
地址: 334100 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 提升 电池 转换 效率 方法
【权利要求书】:

1.一种提升光伏电池转换效率的方法,使用的硅片是电阻率为0.5~3Ω?cm的156mm×156mm规格的P型多晶硅片,常规酸制绒后再进行扩散,使用的扩散炉为荷兰的TEMPRESS,其特征为:具体步骤为:

(1)进入:温度815℃,大N2流量5slm,O2流量0sccm,小N2流量0sccm,压力15Pa,时间8min;

(2)进桨:温度815℃,大N2流量5slm,O2流量0sccm,小N2流量0sccm,压力15Pa,时间8min;

(3)检漏:温度815℃,大N2流量6.5slm,O2流量0sccm,小N2流量0sccm,压力-200Pa,时间5min;

(4)升温:温度815℃,大N2流量9.0slm,O2流量0sccm,小N2流量0sccm,压力10Pa,时间15min;

(5)前氧化:温度805℃,大N2流量12.0slm,O2流量1000sccm,小N2流量0sccm,压力10Pa,时间2min;

(6)沉积:温度805℃,大N2流量12.0slm,O2流量2.0slm,小N2流量2.0slm,压力10Pa,时间15min;

(7)后氧化:温度825℃,大N2流量12.0slm,O2流量500sccm,小N2流量50sccm,压力10Pa,时间8min;

(8)推进:温度845℃,大N2流量12.0slm,O2流量4500sccm,小N2流量0sccm,压力10Pa,时间9min;

(9)冷却:温度800℃,大N2流量12.0slm,O2流量0sccm,小N2流量0sccm,压力10Pa,时间1min;

(10)进桨:温度800℃,大N2流量5.0slm,O2流量0sccm,小N2流量0sccm,压力5Pa,时间8min;

(11)退出:温度800℃,大N2流量5.0slm,O2流量0sccm,小N2流量0sccm,压力5Pa,时间13min。

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