[发明专利]压电元件的制造方法及压电基板在审
| 申请号： | 201510760261.8 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN105428520A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 许祯竹;蔡英宏;庄伟仲;松纳 | 申请（专利权）人： | 业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/331 | 分类号： | H01L41/331;H01L25/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电元件的制造方法。所述制造方法包含：形成图案化屏蔽层于基板上方，其中图案化屏蔽层具有一开口露出基板的一部分；形成压电元件于开口内；以及移除图案化屏蔽层，以获得压电元件，其中压电元件具有中心部分及周边部分邻接中心部分，周边部分的最大高度大于中心部分的高度。本制造方法是透过图案化屏蔽层形成压电元件于基板上，因此后续不需额外的黏着制程将压电元件贴合在基板上，也就不会发生黏着制程可能会造成的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电元件的制造方法，其特征在于，包含：形成一图案化屏蔽层于一基板上方，其中该图案化屏蔽层具有一开口露出该基板的一部分；形成一压电元件于该开口内；以及移除该图案化屏蔽层，以获得该压电元件，其中该压电元件具有一中心部分及一周边部分邻接该中心部分，该周边部分的一最大高度大于该中心部分的一高度。
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