[发明专利]压电元件的制造方法及压电基板在审
| 申请号： | 201510760261.8 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN105428520A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 许祯竹;蔡英宏;庄伟仲;松纳 | 申请（专利权）人： | 业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/331 | 分类号： | H01L41/331;H01L25/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 元件 制造 方法 | ||
1.一种压电元件的制造方法，其特征在于，包含：
形成一图案化屏蔽层于一基板上方，其中该图案化屏蔽层具有一开口露出该基板的一部分；
形成一压电元件于该开口内；以及
移除该图案化屏蔽层，以获得该压电元件，其中该压电元件具有一中心部分及一周边部分邻接该中心部分，该周边部分的一最大高度大于该中心部分的一高度。
2.如权利要求1所述的压电元件的制造方法，其特征在于，其中形成该压电元件于该开口内包含：
填充一压电材料溶液于该开口内；以及
固化该压电材料溶液，以形成该压电元件。
3.如权利要求2所述的压电元件的制造方法，其特征在于，其中该压电材料溶液的一高度小于该开口的一深度。
4.如权利要求1所述的压电元件的制造方法，其特征在于，其中该图案化屏蔽层包含一塑料层及一黏着层位于该塑料层及该基板之间。
5.如权利要求1所述的压电元件的制造方法，其特征在于，其中该图案化屏蔽层包含聚对苯二甲酸乙二酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯(PC)、聚乙烯(PE)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、金属、合金、硅或其组合。
6.一种压电基板，其特征在于，包含：
一基板；以及
一压电元件，位于该基板上，其中该压电元件具有一中心部分及一周边部分邻接该中心部分，该周边部分的一最大高度大于该中心部分的一高度。
7.如权利要求6所述的压电基板，其特征在于，其中该周边部分的一高度自该周边部分的一侧壁朝中心部分先增加再减少。
8.如权利要求6所述的压电基板，其特征在于，其中该周边部分的一侧壁与该基板的一表面之间的夹角为40°至100°。
9.如权利要求6所述的压电基板，其特征在于，其中该周边部分的该最大高度为该中心部分的该高度的二倍至二十一倍。
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