[发明专利]一种硅片倒角亮边处理工装

摘要

本发明涉及一种硅片倒角亮边处理工装，其中，包括固定装置以及承载装置，所述固定装置位于所述承载装置内部；所述固定装置包括固定底板、固定顶板以及固定侧边；使用时将多晶硅片固定装置内部，所有硅片保持与下表面紧密接触，保持方向一致性后，使用六角螺丝装入定位螺孔，使得硅片定位在硅片固定部内，再使用六角螺丝装入固定位螺孔，使得硅片在固定装置内固定，再将固定装置放入承载装置内装载，最后通过螺栓孔将承载装置固定在倒角磨削设备上，进行磨削多晶硅片倒角亮边。

主权项

一种硅片倒角亮边处理工装，其特征在于，包括固定装置以及承载装置，所述固定装置位于所述承载装置内部；所述固定装置包括固定底板、固定顶板以及固定侧边；所述固定顶板呈一体式结构，包括硅片固定部，第一固定凸起，第二固定凸起、第三固定凸起以及倒角磨削凸起；所述硅片固定部位于所述固定装置中间位置，呈方形结构，所述硅片固定部上设有九个固定螺孔，所述固定螺孔在硅片固定部上呈3*3的形式均匀分布；所述第一凸起部位于所述硅片固定部一角，所述第一凸起部呈长方形结构，所述第一凸起部上设有第一定位螺孔，所述第一定位螺孔数量为7个，其中三个第一定位螺孔位于所述第一凸起部短边边缘，呈均匀设置；另四个第一定位螺孔位于所述第一定位凸起长边边缘，呈均匀分布，所述第一定位螺孔在第一定位凸起上呈“L”分布；所述倒角磨削凸起位于第一固定凸起一侧，所述倒角磨削凸起呈梯形结构，位于所述硅片固定部一角；所述第二固定凸起位于倒角磨削凸起另一侧，所述第二固定凸起呈长方形设置，所述第二固定凸起位于所述硅片固定部一角，所述第二固定凸起上设有第二定位螺孔，所述第二定位螺孔数量为4个，沿第二定位凸起长边边缘呈“一”字形均匀分布；所述第三固定凸起位于所述倒角磨削凸起对角位置，所述第三定位凸起上设有第三定位螺孔，所述第三定位螺孔在所述第三定位凸起一边的边缘呈“一”字形均匀分布；所述固定底板形状大小与所述固定顶板一致，所述固定侧边包括第一侧边与第二侧边，所述第一侧边与第二侧边均呈L型结构，所述第一侧边位于所述第一固定凸起一侧，所述第二侧边位于所述第二固定凸起一侧，所述固定侧边顶部连接固定顶板，底部连接固定底板，所述固定顶板与固定底板通过固定侧边实现相互连接；所述承载装置呈一体式结构，包括固定位及固定块，所述固定位呈方形，所述固定块位于所述固定位底部，所述固定位呈方形结构，其顶部设有三角形凹槽，所述固定位上端两侧设有护边，所述固定块两端呈直角梯形机构，所述固定块中心凹角A为直角。