[发明专利]一种冷热腔可控温加热支撑架

摘要

一种冷热腔可控温加热支撑架，主要解决现有半导体镀膜设备热交换效率及产能较低，晶圆温度不够均匀致使薄膜失败的问题，本发明提供一种冷热腔可控温加热支撑架，该加热支撑架包括加热支撑架上盘体，陶瓷柱，分隔板，加热支撑架下盘体，固定螺母。本发明的可控温加热支撑架通过冷热腔利用不同温度的循环媒介的自动调节控温，可以实现加热支撑架温度的自动调节，能够精确地控制加热支撑架的温度。

主权项

一种冷热腔可控温加热支撑架，其特征在于，该加热支撑架包括加热支撑架上盘体，陶瓷柱，分隔板，加热支撑架下盘体，固定螺母；所述加热支撑架上盘体上设有陶瓷柱孔，加热支撑架上盘体的下盘面边缘设有凸台A，陶瓷柱孔边缘设有凸台B，加热支撑架上盘体的下盘面中央位置设有凸台C，所述凸台C处设有热媒通道进口端，热媒通道出口端与热电偶孔；分隔板上设有分隔板陶瓷柱孔，分隔板媒介进口，分隔板媒介出口与分隔板热电偶孔；加热支撑架下盘体上设有通孔，加热支撑架下盘体上盘面的边缘设有凸台D，通孔的边缘设有凸台E，加热支撑架下盘体上盘面的中央位置设有凸台F，凸台F处设有下盘体媒介进口，下盘体媒介出口，热电偶螺纹孔，冷媒进口与冷媒出口；所述分隔板和加热支撑架下盘体通过焊接后中间形成一个空腔，用以进行冷循环媒介循环，为冷腔；然后再将加热支撑架上盘体与其焊接，形成另一个空腔，用以进行热循环媒介循环，为热腔；然后将陶瓷柱穿过陶瓷柱孔、分隔板陶瓷柱孔与通孔内，通过固定螺母对陶瓷柱进行固定。