[发明专利]一种大口径光学元件五自由度抛光机械手在审
| 申请号： | 201510693159.0 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106607731A | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张桂春 | 申请（专利权）人： | 张桂春 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B25J11/00;B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳市浑*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种大口径光学元件五自由度抛光机械手，采用平转动的运动方式，气动加压，Z轴浮动，抛光模与磨头轴采用球铰加拨销柔性连接，位于磨头轴上方的螺杆可以调节偏心距。该机械手五自由度联动可以提供MCM技术所需运动模式和路径，采用柱坐标结构所占空间位置小，便于多个工位同时展开工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 光学 元件 自由度 抛光 机械手 | ||
【主权项】：
一种大口径光学元件五自由度抛光机械手，其特征是：所述机械手的抛光头系统采用平转动的运动方式，气动加压，Z轴浮动，抛光模与磨头轴采用球铰加拨销柔性连接，位于磨头轴上方的螺杆可以调节偏心距。
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