[发明专利]一种大口径光学元件五自由度抛光机械手

权利要求书

1.一种大口径光学元件五自由度抛光机械手，其特征是：所述机械手的抛光头系统采用平转动的运动方式，气动加压，Z轴浮动，抛光模与磨头轴采用球铰加拨销柔性连接，位于磨头轴上方的螺杆可以调节偏心距。

2.根据权利要求1所述的一种大口径光学元件五自由度抛光机械手，其特征是：所述抛光头系统中采用Z轴浮动结构，因此在操作机本体设计中不考虑Z轴方向的直线运动，整个抛光机本体采用柱坐标方式，转动参量θ₁、移动参量d₃和Z轴浮动量d₅确定抛光头的位置；转动参量θ₂和θ₄只确定抛光头的姿态。

3.根据权利要求1所述的一种大口径光学元件五自由度抛光机械手，其特征是：所述腰部转动θ₁由伺服电机带动谐波齿轮副实现；腰部上端装有伺服电机，驱动蜗轮蜗杆副带动臂部固定套实现转动θ₂；臂部左端伺服电机带动精密滚珠丝杠一螺母副实现臂部固定套与移动套之间的移动，为防止二者之间有相对转动，移动套外圆铣有花键与固定套内圆上花键组成导向装置；移动套右端经铰链与抛光头系统连接，由电机带动丝杆丝母传动，通过丝杆的伸缩实现抛光头系统的转动只；整个机械手安装在移动基座顶部，基座可以手动升降，以适应不同工作台高度和不同厚度的光学元件。