[发明专利]一种基于MEMS工艺的电磁力喷头有效
| 申请号： | 201510682051.1 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN105366625A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 张金松;许阁;周志鹏;刘超;伊春明;王志亮 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B41J2/14 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 陆聪明 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS工艺的电磁力喷头，包括导电线圈、软磁性材料、硅材料、控制芯片、导电流体、电极对；所述导电线圈置于软磁性材料的内部，所述硅材料包覆软磁性材料，所述导电线圈的正负极分别与电极对的正负极连接，所述控制芯片置于硅材料顶部，所述导电流体从贯穿控制芯片、硅材料、软磁性材料的喷孔底部流出，所述电极对贯穿软磁性材料、硅材料与顶部的控制芯片连接，实现对导电流体的微流动控制。基于MEMS工艺制造的微型电磁力喷头，通电后，串联的导电线圈产生磁场，电极对产生电场，电磁场形成的电磁力驱动喷头内的导电流体竖直向下流动，具有结构简单、精度高、频率高、噪音低、热量小、可靠性高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 工艺 磁力 喷头 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS工艺的电磁力喷头，其特征在于，包括导电线圈（1）、软磁性材料（2）、硅材料（3）、控制芯片（4）、导电流体（5）、电极对（6）；所述导电线圈（1）置于软磁性材料（2）的内部，所述硅材料（3）包覆软磁性材料（2），所述导电线圈（1）的正负极分别与电极对（6）的正负极连接，所述控制芯片（4）置于硅材料（3）顶部，所述导电流体（5）从贯穿控制芯片（4）、硅材料（3）、软磁性材料（2）的喷孔底部流出，所述电极对（6）贯穿软磁性材料（2）、硅材料（3）与顶部的控制芯片（4）连接，实现对导电流体（5）的微流动控制。
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