[发明专利]一种制备区熔单晶的凸台线圈在审
| 申请号： | 201510680068.3 | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN105154967A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 韩暐;王遵义;娄中士;孙昊;杨旭洲;涂颂昊;刘铮;张雪囡;王彦君;由佰玲 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 陈雅洁 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制备区熔单晶的凸台线圈，包括线圈、冷却水管和吹气气路，所述冷却水管嵌入所述线圈的骨架内，所述线圈为中心带有线圈眼的圆环形结构，上表面设置有一个向所述线圈内部凹陷的环状台阶，所述台阶上为平面，且设有一环状凸台，所述台阶底部一端与所述线圈内圆上边沿连接成向下倾斜的斜面，所述线圈下表面为向线圈中心上方倾斜的斜面，所述吹气气路从外侧水平穿入，经过所述线圈的下半部分，从其下表面穿出。本发明的有益效果是：本线圈可以提供一个稳定均匀的生长热场，使熔硅下行顺畅、成晶率和设备稼动率高，避免多晶硅料边缘长刺、熔区凝固、熔区出腰带等情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 区熔单晶 线圈 | ||
【主权项】：
一种制备区熔单晶的凸台线圈，其特征在于：包括线圈(1)，所述线圈(1)为中心带有线圈眼(11)的圆环形结构，上表面设置有一个向所述线圈(1)内部凹陷的环状台阶，所述台阶上为环形平面，所述平面上设有一同心的环状凸台(13)，所述台阶底部一端与所述线圈(1)内圆上边沿连接成向下倾斜的斜面，所述线圈(1)下表面为向线圈中心上方倾斜的斜面。
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