[发明专利]一种三氯氢硅合成尾气净化系统有效
| 申请号： | 201510632940.7 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN106554019B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 武珠峰;郭小红;吴昌勇 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三氯氢硅合成尾气净化系统，包括洗涤塔和粗馏塔，洗涤塔用于通过氯硅烷洗涤液对合成尾气进行淋洗处理，合成尾气中的硅粉和部分高沸点组分随氯硅烷洗涤液从洗涤塔的排液口输出至残液吸收系统，低沸点组分、其余高沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分作为初步净化后的合成尾气从洗涤塔的气相出口输出至粗馏塔；粗馏塔用于通过氯硅烷洗涤液对初步净化后的合成尾气进行淋洗处理，初步净化后的合成尾气中的其余高沸点组分随氯硅烷洗涤液从粗馏塔的排液口输出至废氯硅烷储罐，初步净化后的合成尾气和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分从粗馏塔的气相出口输出至氯硅烷冷却及提纯系统。本发明所述净化系统的净化效果好且检修工作量小。 | ||
| 搜索关键词： | 氯硅烷 合成尾气 洗涤液 粗馏塔 初步净化 洗涤塔 净化系统 低沸点 高沸点 输出 三氯氢硅合成尾气 气相出口 排液口 淋洗 残液吸收 净化效果 提纯系统 储罐 废氯 硅粉 硅烷 工作量 检修 冷却 | ||
【主权项】：
1.一种三氯氢硅合成尾气净化系统，所述合成尾气包括硅粉、高沸点组分和低沸点组分，其特征在于，所述净化系统包括洗涤塔和粗馏塔，所述洗涤塔用于通过氯硅烷洗涤液对所述合成尾气进行淋洗处理，其中所述合成尾气从位于洗涤塔下部的进气口进入洗涤塔，所述氯硅烷洗涤液从位于洗涤塔上部的进液口进入洗涤塔内，合成尾气在上升过程中与塔顶喷淋而下的所述氯硅烷洗涤液逆流接触，使得合成尾气的温度降低，所述合成尾气中的部分高沸点组成被冷凝为液相进入氯硅烷洗涤液，所述合成尾气中的硅粉与下落的氯硅烷洗涤液发生碰撞、拦截和凝聚，因重力沉降而被氯硅烷洗涤液带到洗涤塔塔釜，最终所述合成尾气中的硅粉和部分高沸点组分随氯硅烷洗涤液从洗涤塔的排液口输出至残液吸收系统，所述合成尾气中的低沸点组分、其余高沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分作为初步净化后的合成尾气从洗涤塔的气相出口输出至粗馏塔；所述粗馏塔用于通过氯硅烷洗涤液对所述初步净化后的合成尾气进行淋洗处理，所述初步净化后的合成尾气中的其余高沸点组分随氯硅烷洗涤液从粗馏塔的排液口输出至废氯硅烷储罐，所述初步净化后的合成尾气中的低沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分作为二次净化后的合成尾气从粗馏塔的气相出口输出至氯硅烷冷却及提纯系统。
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