[发明专利]一种三氯氢硅合成尾气净化系统

权利要求书

1.一种三氯氢硅合成尾气净化系统，所述合成尾气包括硅粉、高沸点组分和低沸点组分，其特征在于，所述净化系统包括洗涤塔和粗馏塔，

所述洗涤塔用于通过氯硅烷洗涤液对所述合成尾气进行淋洗处理，其中所述合成尾气从位于洗涤塔下部的进气口进入洗涤塔，所述氯硅烷洗涤液从位于洗涤塔上部的进液口进入洗涤塔内，合成尾气在上升过程中与塔顶喷淋而下的所述氯硅烷洗涤液逆流接触，使得合成尾气的温度降低，所述合成尾气中的部分高沸点组成被冷凝为液相进入氯硅烷洗涤液，所述合成尾气中的硅粉与下落的氯硅烷洗涤液发生碰撞、拦截和凝聚，因重力沉降而被氯硅烷洗涤液带到洗涤塔塔釜，最终所述合成尾气中的硅粉和部分高沸点组分随氯硅烷洗涤液从洗涤塔的排液口输出至残液吸收系统，所述合成尾气中的低沸点组分、其余高沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分作为初步净化后的合成尾气从洗涤塔的气相出口输出至粗馏塔；

所述粗馏塔用于通过氯硅烷洗涤液对所述初步净化后的合成尾气进行淋洗处理，所述初步净化后的合成尾气中的其余高沸点组分随氯硅烷洗涤液从粗馏塔的排液口输出至废氯硅烷储罐，所述初步净化后的合成尾气中的低沸点组分和氯硅烷洗涤液中的低沸点组分作为二次净化后的合成尾气从粗馏塔的气相出口输出至氯硅烷冷却及提纯系统。

2.根据权利要求1所述的净化系统，其特征在于，所述净化系统还包括塔顶冷凝器和回流泵，

所述塔顶冷凝器用于对所述二次净化后的合成尾气进行冷却处理，其中未凝气从塔顶冷凝器的气相出口输出至氯硅烷冷却及提纯系统，冷凝下来的液体作为氯硅烷回流液从塔顶冷凝器的液相出口输出至回流泵进口；

所述回流泵用于对氯硅烷回流液进行增压处理，并将增压处理后的氯硅烷回流液输出至洗涤塔的进液口。

3.根据权利要求2所述的净化系统，其特征在于，所述回流泵还用于将增压处理后的氯硅烷回流液输出至粗馏塔的进液口。

4.根据权利要求3所述的净化系统，其特征在于，所述回流泵输出至洗涤塔的氯硅烷回流液的量占回流泵输送的氯硅烷回流液总量的60％-70％；回流泵输出至粗馏塔的氯硅烷回流液的量占回流泵输送的氯硅烷回流液总量的30％-40％。

5.根据权利要求2所述的净化系统，其特征在于，所述净化系统还包括设置在塔顶冷凝器和回流泵之间的氯硅烷缓冲罐，用于暂时存储氯硅烷回流液及缓冲系统的压力波动。

6.根据权利要求1所述的净化系统，其特征在于，

所述净化系统还包括设置在洗涤塔下部的洗涤塔再沸器，用于对塔釜残液进行加热处理，以使塔釜残液中的低沸点组分从洗涤塔的气相出口输出；

所述净化系统还包括设置在粗馏塔底部的粗馏塔再沸器，用于对塔釜残液进行加热处理，以使塔釜残液中的低沸点组分从粗馏塔的气相出口输出。

7.根据权利要求6所述的净化系统，其特征在于，所述洗涤塔再沸器采用釜式再沸器；所述粗馏塔再沸器采用卧式再沸器。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的净化系统，其特征在于，所述合成尾气包括氯硅烷气体、氢气、氯化氢气体、硅粉、金属氯化物和氯硅烷高聚物，其中高沸点组分包括金属氯化物和氯硅烷高聚物，低沸点组分包括氯硅烷气体、氢气和氯化氢气体。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的净化系统，其特征在于，

排液口位于洗涤塔底部，气相出口位于洗涤塔顶部；

所述初步净化后的合成尾气从粗馏塔的进气口进入粗馏塔内，所述粗馏塔的进气口位于粗馏塔中下部，排液口位于粗馏塔底部，气相出口位于粗馏塔顶部。

10.根据权利要求9所述的净化系统，其特征在于，所述洗涤塔的进气口在洗涤塔内沿竖直方向向下延伸，且端部位于洗涤塔塔釜液面以下5-10mm。