[发明专利]一种基于X-射线光谱仪测量碳化钒薄膜厚度的方法在审
| 申请号： | 201510596880.8 | 申请日： | 2015-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN105157629A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 赵睿;闫小瑞;朱喆;杨丽琳;金浩星;林军 | 申请（专利权）人： | 深圳市和胜金属技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于X-射线光谱仪测量碳化钒薄膜厚度的方法。本发明采用X-射线光谱仪对涂覆于模具表面的碳化钒薄膜的厚度和元素进行测量，有效解决了现有测量方法给测量带来误差的问题，提高了测量的精确度和准确度，且可避免现有测量方法测量时对薄膜造成损伤的问题，同时还可实现快速的测量出碳化钒薄膜的厚度和元素。另外，本发明测量方法对操作人员无专业方面的要求，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 射线 光谱仪 测量 碳化 薄膜 厚度 方法 | ||
【主权项】：
一种基于X‑射线光谱仪测量碳化钒薄膜厚度的方法，其特征在于，采用X‑射线光谱仪对涂覆于模具表面的碳化钒薄膜的厚度进行测量。
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