[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

摘要

本发明提供一种基板输送装置和基板输送方法，其能够延长引导辊的寿命，并且不蜿蜒前行地输送基板。该基板输送装置的特征在于具有：多个输送辊(2)，其与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊(4)，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且沿着所述基板的输送方向配置有多个；以及引导辊调整部(40)，其调整所述引导辊的位置，引导辊调整部(40)具有：第1可动部件(45)，其将引导辊(4)保持成能够旋转；和Z轴调整机构(300)，其调整第1可动部件(45)在基板(W)的厚度方向上的高度位置。

主权项

1.一种基板输送装置，该基板输送装置输送基板，其特征在于，该基板输送装置具有：多个输送辊，它们与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；圆柱状的引导辊，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且该引导辊沿着所述基板的输送方向配置有多个，所述引导辊具有所述基板的厚度的2倍以上的高度；以及引导辊调整部，其调整所述引导辊的位置，所述引导辊调整部具有：Z轴调整机构，其调整所述引导辊的相对于所述基板的厚度方向的高度位置；以及X轴调整机构，该X轴调整机构调整所述引导辊的表面与所述基板的侧面之间的距离，所述X轴调整机构具有：第1可动部件，其将所述引导辊保持成能够旋转自如，并且沿着与所述输送方向垂直的方向具有滑动孔；和第2可动部件，其通过经由所述滑动孔的调整螺栓固定该第1可动部件，所述Z轴调整机构使所述第2可动部件上升或下降，在通过所述Z轴调整机构调整所述引导辊相对于所述基板的厚度方向的位置时，通过使所述第2可动部件上升或下降，由此，固定于所述第2可动部件上的所述第1可动部件、和保持于所述第1可动部件上的所述引导辊也随着上升或下降。