[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

说明书

本发明提供一种基板输送装置和基板输送方法，其能够延长引导辊的寿命，并且不蜿蜒前行地输送基板。该基板输送装置的特征在于具有：多个输送辊(2)，其与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊(4)，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且沿着所述基板的输送方向配置有多个；以及引导辊调整部(40)，其调整所述引导辊的位置，引导辊调整部(40)具有：第1可动部件(45)，其将引导辊(4)保持成能够旋转；和Z轴调整机构(300)，其调整第1可动部件(45)在基板(W)的厚度方向上的高度位置。

技术领域

本发明的实施方式涉及基板输送装置和基板输送方法。

背景技术

作为基板输送装置，公知有这样的装置：该装置在沿着与基板的输送方向垂直的方向延伸的轴上设置多个输送辊，使基板的下表面抵接到该输送辊上来输送该基板。而且，该基板输送装置构成为：除了输送辊之外，沿着所输送的基板的输送方向还设置有多个引导辊，利用该引导辊来引导基板的侧面，由此，对被输送辊输送的基板进行定位，能够不蜿蜒前行地输送基板。

专利文献1：日本特开2010-42902号公报

上述基板输送装置被用于各种基板的输送，但是，例如在液晶面板制造装置的领域，近年来，作为输送对象的基板不断变薄。以往，一般情况下，一边输送例如1mm左右的厚度的基板一边进行处理。但是，近年来，处理0.01mm～0.3mm左右的厚度的基板的情况增多。如果基板变薄，则相应地，引导辊表面上的与基板的侧面接触的表面积(接触的区域)变小。因此，基板集中地与引导辊的表面上的小表面积持续接触。引导辊表面的与基板集中接触的部分随着时间的经过(即，如果所要引导的基板的个数增加)而慢慢磨损，成为以基板的厚度为高度的凹形状。在引导辊上形成有凹形状的槽(凹部)的部分处，在基板的侧面与引导辊之间空出比最初规定的间隙大的间隙。如果成为这样的状态，则存在下述情况：基板蜿蜒前行，无法顺利地进行输送，或者由此导致基板的角部与引导辊碰撞等，在基板上产生裂纹或缺口。因此，在引导辊像这样磨损的情况下，必须将引导辊更换为新品。特别地，如果基板的厚度变薄，则基板的侧面像刀刃一样作用于引导辊上，引导辊急剧磨损，因此，需要在短期间内频繁地更换引导辊。

发明内容

本发明要解决的课题是提供一种可延长引导辊的寿命、并且不蜿蜒前行地输送基板的基板输送装置和基板输送方法。

实施方式的基板输送装置输送基板，其特征在于，该基板输送装置具有：多个输送辊，它们与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且该引导辊沿着所述基板的输送方向配置有多个；以及引导辊调整部，其调整所述引导辊的位置，所述引导辊调整部具有：将所述引导辊保持成能够旋转的部件；和Z轴调整机构，其调整所述部件的相对于所述基板的厚度方向的高度位置。

实施方式的基板输送方法是输送基板的方法，其特征在于，使多个输送辊与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送，利用引导辊以夹住所述基板的侧面的方式引导所述基板，该引导辊沿着向所述输送方向输送的所述基板的所述输送方向设置有多个，并且，在所述引导辊磨损时，在所述基板的厚度方向上调整所述引导辊的位置后继续使用。

根据本发明，能够延长引导辊的寿命，并且能够不蜿蜒前行地输送基板。

附图说明

图1是示出第1实施方式的基板输送装置的概要结构的主视图。

图2是第1实施方式的基板输送装置的概要俯视图。

图3示出了第1实施方式的引导辊调整部的侧面，是沿图4中的A-A的剖视图。

图4是示出第1实施方式的引导辊调整部的俯视面的图。

图5是示出第2实施方式的引导辊调整部的侧面的图。