[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

权利要求书

1.一种基板输送装置，该基板输送装置输送基板，其特征在于，

该基板输送装置具有：

多个输送辊，它们与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；

圆柱状的引导辊，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且该引导辊沿着所述基板的输送方向配置有多个，所述引导辊具有所述基板的厚度的2倍以上的高度；以及

引导辊调整部，其调整所述引导辊的位置，

所述引导辊调整部具有：

Z轴调整机构，其调整所述引导辊的相对于所述基板的厚度方向的高度位置；以及

X轴调整机构，该X轴调整机构调整所述引导辊的表面与所述基板的侧面之间的距离，

所述X轴调整机构具有：

第1可动部件，其将所述引导辊保持成能够旋转自如，并且沿着与所述输送方向垂直的方向具有滑动孔；和

第2可动部件，其通过经由所述滑动孔的调整螺栓固定该第1可动部件，

所述Z轴调整机构使所述第2可动部件上升或下降，

在通过所述Z轴调整机构调整所述引导辊相对于所述基板的厚度方向的位置时，通过使所述第2可动部件上升或下降，由此，固定于所述第2可动部件上的所述第1可动部件、和保持于所述第1可动部件上的所述引导辊也随着上升或下降。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

所述Z轴调整机构具备：

拉紧螺栓，其固定所述第2可动部件和固定部件；和

一对紧固螺栓，它们以末端抵接在所述固定部件上的状态螺入所述第2可动部件，并且被配置成夹着所述拉紧螺栓。

3.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

所述Z轴调整机构具有：

拉紧螺栓，其固定所述第2可动部件和固定部件；和

调整部件，其介于所述第2可动部件与所述固定部件之间，

对相对于所述拉紧螺栓的长度方向的长度不同的多个所述调整部件进行更换。

4.一种基板输送方法，其是利用引导辊对基板的侧面进行引导来输送所述基板的方法，其中，

使用权利要求1所述的基板输送装置，所述引导辊在输送所述基板时，以所述基板的侧面与所述引导辊的比高度方向的中央靠上或者靠下的区域接触的方式进行引导，

在所述引导辊磨损时，使所述引导辊的上下反转，由此变更所述基板的侧面与所述引导辊接触的区域，然后继续使用。