[发明专利]石墨舟直型槽工艺点及其生产工艺在审
申请号: | 201510577766.0 | 申请日: | 2015-09-11 |
公开(公告)号: | CN106531839A | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
发明(设计)人: | 朱建中 | 申请(专利权)人: | 镇江鹏飞光伏技术有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及太阳能电池制造行业,尤其是一种镀膜用的石墨舟直型槽工艺点及其生产工艺。一种石墨舟直型槽工艺点,包括卡块和用于安装在石墨舟片安装孔中的安装部组成,卡块为两个且对称分布在安装部的两端面上,卡块的端面与侧面之间设有过渡面,卡块的根部与安装部的端面之间分别形成硅片的卡槽,所述卡槽的侧面与柱形安装部的端面及卡块的端面之间的夹角为直角,卡槽的横截面为“”形。相比较现有技术,本发明增加了卡槽深度,使卡点与硅片接触面积比原始卡点增加41.2%;卡槽由原来的“V”型变为现在的“”型,使硅片与舟页贴合更紧密,降低了SiNx或SiO2沉积的几率。这种卡点简称为石墨直槽型卡点。 | ||
搜索关键词: | 石墨 舟直型槽 工艺 及其 生产工艺 | ||
【主权项】:
一种石墨舟直型槽工艺点,包括卡块(1)和用于安装在石墨舟片安装孔中的安装部(2)组成,卡块(1)为两个且对称分布在安装部(2)的两端面上,卡块(1)的端面与侧面之间设有过渡面(3),卡块(1)的根部与安装部(2)的端面之间分别形成用于卡合硅片的卡槽(4),其特征在于:所述卡槽(4)的侧面与柱形安装部(2)的端面及卡块(1)的端面之间的夹角为直角,卡槽(4)的横截面为型。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的