[发明专利]裸片接合装置及接合方法

摘要

本发明提供一种裸片接合装置及接合方法，其能够实现确实地除去粘着力强的异物的筒夹清洁而避免异物飞散。本发明的特征在于，从晶圆拾取裸片并将裸片接合在基板上，在吸附裸片的筒夹的吸附面上，使具有十μm至数百μm的线径的金属刷沿着吸附面与吸附面相对地移动来清洁吸附面的裸片接合装置及接合方法。

主权项

1.一种裸片接合装置，其特征在于，具有：拾取头，其使设于顶端的筒夹的吸附面吸附裸片而从晶圆拾取上述裸片；中间载台，其载置所拾取的上述裸片；接合头，其将从上述中间载台拾取的上述裸片接合在基板或已被接合的裸片上；清洁装置，其利用由多个具有十μm至数百μm的线宽的金属刷毛扎成的极细金属刷将上述吸附面上的异物除去；接触单元，其使上述极细金属刷与上述吸附面接触；移动单元，其沿着上述吸附面使上述极细金属刷与上述吸附面相对地移动；以及控制部，其对上述接触单元和上述移动单元进行控制，上述清洁装置设于上述拾取头的可动范围内，并且设于从上述晶圆拾取上述裸片的拾取位置和上述中间载台之间，且在除去上述吸附面的异物时面对上述吸附面，上述接触单元是使上述极细金属刷升降而与上述吸附面接触的单元，上述移动单元具有抽吸部。