[发明专利]高频电源装置在审
| 申请号： | 201510559287.6 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105392269A | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 土生俊也 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H02M7/5383 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够通过廉价的结构来准确地控制等离子体接入功率的高频电源装置。通过电压检测部(101)以及电流检测部(102)来分别检测针对串联谐振电路的高频输入电压(V)以及高频输入电流(I)，根据所检测到的高频输入电压(V)以及高频输入电流(I)，通过等离子体接入功率检测部(111)来检测等离子体接入功率。这样，通过直接检测等离子体接入功率，无论等离子体生成用气体、分析试样的状态等如何，都能够准确地控制等离子体接入功率。另外，通过使用包含半导体元件的开关电路，与使用真空管等的结构相比，能够做成更廉价的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 电源 装置 | ||
【主权项】：
一种高频电源装置，其特征在于，具备：直流电源；串联谐振电路，包含等离子体生成用的感应线圈以及电容器；半桥式或者全桥式的开关电路，包含对从所述直流电源供给的直流电进行切换并提供给所述串联谐振电路的半导体元件；电压检测部，检测所述串联谐振电路的高频输入电压；电流检测部，检测所述串联谐振电路的高频输入电流；以及等离子体接入功率检测部，根据所述高频输入电压以及所述高频输入电流来检测等离子体接入功率。
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