[发明专利]物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510556719.8 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105403207A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 古畑诚 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有优异检测精度的物理量传感器元件以及具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器元件(1)具备：两个驱动部(24)，其呈沿XY平面的板状并在Z轴方向上振动；两个检测部(21)；四个梁部(25)，其对一方的驱动部(24)和一方的检测部(21)进行连接，并对另一方的驱动部(24)和另一方的检测部(21)进行连接；连结部(28)，其一端部被连接在一方的驱动部(24)的内侧的部分上，另一端部被连接在另一方的驱动部(24)的内侧的部分上，各个驱动部(24)具有梁部(29)，所述梁部(29)与连结部(28)的端部连接，且能够以减少各个驱动部(24)相对于XY平面的姿态变化的方式而变形。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 元件 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器元件，其特征在于，具备：第一质量部以及第二质量部，其呈沿着基准面的板状，并在沿着所述基准面的法线的方向上进行振动；第一支承部；第一梁部，其对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接；第二支承部；第二梁部，其对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接；连结部，其一端部被连接在所述第一质量部的内侧的部分上，另一端部被连接在所述第二质量部的内侧的部分上，所述第一质量部具有第一易变形部，所述第一易变形部与所述连结部的所述一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第一质量部的姿态的变化的方式进行变形，所述第二质量部具有第二易变形部，所述第二易变形部与所述连结部的所述另一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第二质量部的姿态的变化的方式进行变形。
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