[发明专利]物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，作为使用了硅MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)技术的物理量传感器元件，例如已知有一种对角速度进行检测的静电电容型的陀螺传感器元件(角速度传感器)(例如，参照专利文献1)。

例如，在专利文献1所涉及的角速度传感器中，两个质量体被间接地连结在框架上。这两个质量体以必须沿着Z方向而向相反方向移动的方式通过链接装置而被连结。以Y轴为中心的传感器的角速度能够通过使两个质量体在Z方向上以相反相位进行振动并对由此而被施加于框架上的角振动的振幅进行测定，从而被感知。

但是，在专利文献1所涉及的角速度传感器中，由于两个质量体的互相成为近位的端部彼此通过链接而被连结，因此在使其向面外方向进行驱动振动时，质量体相对于面内方向而倾斜，其结果为，存在产生振动泄漏的问题。

本发明的目的在于，提供一种具有优异检测精度的物理量传感器元件，而且还提供一种具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。

专利文献1：日本特表2007-509346号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，并且能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本发明的物理量传感器元件的特征在于，具备：第一质量部以及第二质量部，其呈沿着基准面的板状，并在沿着所述基准面的法线的方向上进行振动；第一支承部；第一梁部，其对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接；第二支承部；第二梁部，其对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接；连结部，其一端部被连接在所述第一质量部的内侧的部分上，另一端部被连接在所述第二质量部的内侧的部分上；所述第一质量部具有第一易变形部，所述第一易变形部与所述连结部的所述一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面的所述第一质量部的姿态的变化的方式进行变形，所述第二质量部具有第二易变形部，所述第二易变形部与所述连结部的所述另一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第二质量部的姿态的变化的方式进行变形。

根据这种物理量传感器元件，由于连结部将第一质量部和第二质量部连接在一起，因此在使第一质量部与第二质量部以反相沿着基准面的法线的方向而进行振动时，能够使第一质量部以及第二质量部稳定地进行振动。特别是在其振动时，由于第一易变形部以及第二易变形部以减小第一质量部以及第二质量部的相对于基准面而言的姿态的变化的方式进行变形，因此例如能够将第一质量部以及第二质量部的相对于基准面的倾斜控制为较小，从而能够减少振动泄漏。根据以上情况，而使本发明的物理量传感器元件具有优异的检测精度。

应用例2

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述第一易变形部以及所述第二易变形部分别沿着相对于所述第一质量部和所述第二质量部所并列的方向而交叉的方向延伸。

由此，通过分别使第一易变形部以及第二易变形部进行扭曲变形，从而能够减少第一质量部以及第二质量部的相对于基准面的姿态的变化。以此方式，能够通过比较的简单结构而减少相对于基准面的第一质量部以及第二质量部的姿态的变化。

应用例3

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述第一易变形部以及所述第二易变形部的各自的宽度与所述连结部的宽度相比而较狭窄。

由此，能够分别使第一易变形部以及第二易变形部易于进行扭曲变形，并且能够有效率地减少第一质量部以及第二质量部的相对于基准面的姿态的变化。此外，能够减少连结部的非本意的变形，并且能够实现第一质量部以及第二质量部的振动的稳定化。

应用例4

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述第一质量部具有配置有所述第一易变形部的第一间隙部，所述第二质量部具有配置有所述第二易变形部的第二间隙部。

由此，能够通过对一个基板进行加工，从而使第一易变形部以及第二易变形部与第一质量部以及第二质量部一并形成。

应用例5

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，具备支承梁部，在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述支承梁部被配置于所述第一质量部和所述第二质量部之间，且沿着相对于所述第一质量部和所述第二质量部并列的方向而交叉的方向延伸，所述连结部的中途被所述支承梁部所支承。