[发明专利]物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器元件，其特征在于，具备：

第一质量部以及第二质量部，其呈沿着基准面的板状，并在沿着所述基准面的法线的方向上进行振动；

第一支承部；

第一梁部，其对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接；

第二支承部；

第二梁部，其对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接；

连结部，其一端部被连接在所述第一质量部的内侧的部分上，另一端部被连接在所述第二质量部的内侧的部分上，

所述第一质量部具有第一易变形部，所述第一易变形部与所述连结部的所述一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第一质量部的姿态的变化的方式进行变形，

所述第二质量部具有第二易变形部，所述第二易变形部与所述连结部的所述另一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第二质量部的姿态的变化的方式进行变形。

2.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述第一易变形部以及所述第二易变形部分别沿着相对于所述第一质量部和所述第二质量部所并列的方向而交叉的方向延伸。

3.如权利要求2所述的物理量传感器元件，其中，

在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述第一易变形部以及所述第二易变形部的各自的宽度与所述连结部的宽度相比而较狭窄。

4.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

所述第一质量部具有配置有所述第一易变形部的第一间隙部，

所述第二质量部具有配置有所述第二易变形部的第二间隙部。

5.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

具备支承梁部，在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时，所述支承梁部被配置于所述第一质量部和所述第二质量部之间，且沿着相对于所述第一质量部和所述第二质量部所并列的方向而交叉的方向延伸，

所述连结部的中途被所述支承梁部所支承。

6.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

具备：

基板，其以沿着所述基准面的方式而配置；

第一固定部以及第二固定部，其被固定在所述基板上；

第三梁部，其对所述第一固定部和所述第一支承部进行连接；

第四梁部，其对所述第二固定部和所述第二支承部进行连接；

第一电极，其在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时被设置于与所述第一质量部重叠的位置上；

第二电极，其在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时被设置于与所述第二质量部重叠的位置上。

7.如权利要求6所述的物理量传感器元件，其中，

具备：

第一检测电极，其被固定在所述基板上，并对沿着所述第一支承部的所述基准面的方向上的振动进行检测；

第二检测电极，其被固定在所述基板上，并对沿着所述第二支承部的所述基准面的方向上的振动进行检测。

8.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

所述第一易变形部被配置于在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时包含所述第一质量部的重心的位置处，

所述第二易变形部被配置于在从沿着所述基准面的法线的方向进行俯视观察时包含所述第二质量部的重心的位置处。

9.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件；

封装件，其对所述物理量传感器元件进行收纳。

10.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件。

11.一种移动体，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件。