[发明专利]一种可延展无机柔性LED阵列的制备方法

摘要

本发明公开了一种用石墨烯作透明互联的可延展无机柔性LED阵列的制备方法，该制备方法包括：铜箔/镍箔基底的石墨烯转移到PDMS；将PDMS上的石墨烯转移到预拉伸胶带；预拉伸胶带回缩；利用半导体工艺技术，在LED外延片上形成同面电极开口LED单元排布成的阵列；将通过胶带回缩形成的褶皱石墨烯转移到形成LED单元阵列的外延片上；胶带的去除；石墨烯的图形化；与石墨烯接触金属的生长，图形化和电极引出；对LED表面进行柔性封装；柔性封装后去除LED的衬底，对LED背面进行柔性封装。本发明制备的用石墨烯作透明互联的可延展无机柔性LED阵列，具有可延展性强，电阻和光强对形变灵敏，出光效率高等特点。

主权项

1.一种用石墨烯作透明互联的可延展无机柔性LED阵列的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将生长在基底上的石墨烯转移到PDMS上；步骤2：将PDMS上的石墨烯转移到预拉伸的超弹性胶带上；步骤3：将胶带回缩，从而压缩石墨烯，使其形成褶皱石墨烯；步骤4：在LED外延片上形成同面电极开口的LED单元排布阵列；步骤5：将褶皱的石墨烯从胶带上转移至形成了LED单元排布阵列的所述LED外延片上，并去除胶带；步骤6：对转移到所述LED外延片上的褶皱石墨烯完成图形化，形成LED单元排布阵列的互联；步骤7：在石墨烯上生长接触金属，并引出导线；步骤8：对形成互联的LED单元排布阵列做表面柔性封装，并去除所述LED外延片上的衬底，形成以石墨烯作透明互联的可延展无机柔性LED阵列。