[发明专利]一种石墨沉积装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201510541467.1 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN105002477B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 胡丹;朱刘;胡智向 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 511517 广东省清远市清新县禾*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种石墨沉积装置及其制备方法，在除石墨模具之外的石墨系统表面涂覆石墨乳溶液，形成石墨乳层。与现有技术相比，本发明在石墨系统表面涂覆石墨乳溶液形成石墨乳薄层，高温状态下，由于石墨乳的热膨胀系数大于石墨件的膨胀系数，两者可很好的剥离，从而达到使沉积在石墨系统表面的热解氮化硼材料易剥离的效果，减小了对石墨系统的损伤，且该处理方法操作简单、成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨乳 石墨系统 表面涂覆 沉积装置 石墨 制备 热解氮化硼 热膨胀系数 高温状态 膨胀系数 石墨模具 石墨件 易剥离 薄层 沉积 减小 损伤 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种石墨沉积装置，其特征在于，除石墨模具之外的石墨系统表面覆盖有一层石墨乳层；所述石墨乳层的厚度为0.05～0.1mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导稀材股份有限公司，未经广东先导稀材股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510541467.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
