[发明专利]一种石墨沉积装置及其制备方法

权利要求书

1.一种石墨沉积装置，其特征在于，除石墨模具之外的石墨系统表面覆盖有一层石墨乳层；所述石墨乳层的厚度为0.05～0.1mm。

2.根据权利要求1所述的石墨沉积装置，其特征在于，所述石墨系统包括石墨盖板、石墨沉积装置的腔体体壁与石墨底座；所述石墨盖板将石墨沉积装置的腔体与原料供给装置的腔体隔开；所述石墨底座位于石墨沉积装置的腔体内且其上设置有石墨模具。

3.一种石墨沉积装置的制备方法，其特征在于，在除石墨模具之外的石墨系统表面涂覆石墨乳溶液，形成石墨乳层；所述石墨乳溶液中石墨乳与溶剂的质量比为1：(1～3)。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述石墨乳溶液为水性石墨乳水溶液。

5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述石墨乳溶液为溶剂型石墨乳的醇溶液。

6.一种化学气相沉积系统，其特征在于，包括权利要求1～2任意一项所述的石墨沉积装置或权利要求3～5任意一项所制备的石墨沉积装置。