[发明专利]一种具有滤波功能钝化层的碳化硅肖特基紫外探测器

摘要

本发明公开了一种具有滤波功能钝化层的碳化硅肖特基紫外探测器，器件表面淀积了一层复合的全介质结构薄膜做钝化层，不仅具有保护器件的作用，还能够在全介质结构中产生布拉格共振，滤掉一定波长范围内的紫外光，使碳化硅探测器对紫外波段的响应具有选择性，从而实现日盲特性。所述的全介质结构一般为具有高低折射率的不同介质材料交替叠加形成，其厚度介于1‑20微米之间。使用本发明所述设计的具有滤波功能钝化层的SiC肖特基紫外探测器，比传统结构器件相比有着更短的截止波长，实现了对紫外波段响应的选择性，也实现了探测器的日盲特性。

主权项

一种具有滤波功能钝化层的碳化硅肖特基紫外探测器，其特征在于：其钝化层为复合的全介质结构薄膜，复合的全介质结构薄膜由不同折射率的材料交替叠加形成，用于对紫外波段的响应具有选择性，实现碳化硅肖特基紫外探测器的日盲特性用途；复合的全介质结构薄膜的厚度为3～8微米；复合的全介质结构薄膜由高折射率材料和低折射率材料交替叠加形成，并至少包含一组高低折射率交替叠加的周期结构，交替叠加的周期数为40～100；高折射率材料包括：HfO2、ZrO2、Y2O3、Al2O3、Si3N4、NdF3或LaF3，低折射率材料为SiO2；复合的全介质结构薄膜由电子束蒸发、溅射工艺、或化学气相沉积方法淀积而成，淀积速率为0.1nm/s～30nm/s。