[发明专利]涡轮分子泵

摘要

本发明提供一种能使起动操作简化的涡轮分子泵。涡轮分子泵(100)包括泵转子(4)，由马达(M)旋转驱动；定子(32)，对应于泵转子(4)而设；加热器(38)，使定子(32)升温至目标温度(T0)；温度传感器(39)，检测定子(32)的温度；及控制单元(2)，若在加热器(38)开始通电后输入有旋转开始指令，则在定子(32)的温度达到设定为小于目标温度的规定温度之前，禁止以常态转数旋转驱动泵转子(4)，当定子(32)的温度超过规定温度时，以常态转数进行旋转驱动。

主权项

一种涡轮分子泵，包括：圆筒状的转子，由马达旋转驱动；圆筒状的定子，对应于所述转子而设；加热器，使所述定子升温至目标温度；温度传感器，检测所述定子的温度；及控制部，所述涡轮分子泵的特征在于：若在所述加热器开始通电后输入有旋转开始指令，则在所述定子的温度达到设定为小于所述目标温度的规定温度之前，所述控制部禁止以常态转数旋转驱动所述转子，当所述定子的温度超过所述规定温度时，所述控制部以所述常态转数进行旋转驱动。