[发明专利]涡轮分子泵

权利要求书

1.一种涡轮分子泵，包括：

圆筒状的转子，由马达旋转驱动；

圆筒状的定子，对应于所述转子而设；

加热器，使所述定子升温至目标温度；

温度传感器，检测所述定子的温度；及

控制部，

所述涡轮分子泵的特征在于：

若在所述加热器开始通电后输入有旋转开始指令，则在所述定子的温度达到设定为小于所述目标温度的规定温度之前，所述控制部禁止以常态转数旋转驱动所述转子，当所述定子的温度超过所述规定温度时，所述控制部以所述常态转数进行旋转驱动。

2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其特征在于，其中，

所述控制部进行第1控制或第2控制，所述第1控制是指在达到所述规定温度之前使所述转子处于停止状态，所述第2控制是指以低于所述常态转数的规定转数进行旋转驱动。

3.根据权利要求2所述的涡轮分子泵，其特征在于，其中，

所述控制部包括：

停止判定部，判定当进行所述第2控制时所述转子是否处于停止状态；及

通知部，当所述停止判定部判定为停止状态时，进行异常通知。

4.根据权利要求2所述的涡轮分子泵，其特征在于，其中，

所述规定温度以下的泵使用温度区域被划分为多个温度范围，越是高温侧的温度范围，所述规定转数设定得越大。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，其更包括：

结束信息提示部，当所述定子的温度达到所述目标温度时，提示升温结束信息。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的涡轮分子泵，其特征在于，其更包括：

推断时间提示部，依据所述温度传感器检测出的所述定子的温度，来推断所述定子达到所述目标温度为止的升温时间，且提示所述推断出的升温时间。

7.根据权利要求5所述的涡轮分子泵，其特征在于，其更包括：

推断时间提示部，依据所述温度传感器检测出的所述定子的温度，来推断所述定子达到所述目标温度为止的升温时间，且提示所述推断出的升温时间。