[发明专利]涡轮分子泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有使定子升温的构成的涡轮分子泵。

背景技术

涡轮分子泵中，已有如下技术：为了抑制反应产物的沉积，利用加热器使涡轮分子泵的定子升温(例如，参照专利文献1)。若使定子升温，则定子会产生热膨胀从而会使转子与定子的间隙尺寸变化，且使排气性能变化。因此，以使间隙尺寸在升温且膨胀的状态下成为最佳尺寸的方式，设定转子及定子的尺寸。因此，定子温度为常温时的间隙尺寸变得像升温时的膨胀变化大时那么窄。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2011-80407号公报

然而，随着升温的设定温度升高，常温时的间隙尺寸会变得更窄，当定子的升温不充分的泵起动时(开始旋转时)转子与定子可能会接触。尤其是，当泵起动时，在定子温度为常温、转子温度高的情况下，接触的可能性变高。因此，当使用具备升温功能的涡轮分子泵时，使用者须待升温结束后进行泵起动操作，从而存在操作变得繁琐的问题。而且，当因使用者的误操作而使刚开始升温后便进行泵起动时，会产生转子与定子接触的不良状况。

发明内容

本发明的优选实施方式的涡轮分子泵包括：圆筒状的转子，由马达旋转驱动；圆筒状的定子，对应于所述转子而设；加热器，使所述定子升温至目标温度；温度传感器，检测所述定子的温度；及控制部，若在所述加热器开始通电后输入有旋转开始指令，则在所述定子的温度达到设定为小于所述目标温度的规定温度之前，禁止以常态转数旋转驱动所述转子，当所述定子的温度超过所述规定温度时，以所述常态转数进行旋转驱动。

更优选的实施方式中，所述控制部进行第1控制或第2控制，所述第1控制是指在达到所述规定温度之前使所述转子处于停止状态，所述第2控制是指以低于所述常态转数的规定转数进行旋转驱动。

更优选的实施方式中，涡轮分子泵的所述控制部包括：停止判定部,判定当进行所述第2控制时所述转子是否处于停止状态；及通知部，当所述停止判定部判定为停止状态时，进行异常通知。

更优选的实施方式中，所述规定温度以下的泵使用温度区域被划分为多个温度范围，越是高温侧的温度范围，所述规定转数设定得越大。

更优选的实施方式中，更包括结束信息提示部，所述结束信息提示部是当所述定子的温度达到所述目标温度时提示升温结束信息。

更优选的实施方式中，更包括推断时间提示部，所述推断时间提示部是依据所述温度传感器检测出的所述定子的温度，来推断所述定子达到所述目标温度为止的升温时间，且提示该推断出的升温时间。

根据本发明，能使涡轮分子泵的起动操作简化。

附图说明

图1是表示涡轮分子泵的概略构成的图。

图2是表示控制单元的概略构成的框图。

图3(a)、图3(b)是说明间隙尺寸的示意图。

图4是用于说明起动控制的流程图。

图5(a)、图5(b)是说明规定温度的图。

图6是说明相互关系LT的图。

图7是表示定子温度与转子转数的关系的一例的图。

图8是表示第2实施方式的控制动作的流程图。

[符号的说明]

1：泵单元

2：控制单元

3：底座

4：泵转子

5：轴

10：马达定子

20：主控制部

21：电源部

22：马达控制部

23：轴承控制部

24：温度控制部

25：操作部

25a：电源开关

25b：启动开关

26：显示部

30：泵壳

30a：卡止部

31：固定翼

32：定子

33：隔离环

34～36：磁轴承

37a、37b：机械轴承

38：加热器

39：温度传感器

41：旋转翼

42：圆筒部

43：旋转传感器

100：涡轮分子泵

G0：最佳间隙尺寸

G1、G2、G3：间隙尺寸

Lr、Lr1、Lr2、LR：曲线

LT：相互关系

M：马达

r：圆筒部的外周半径

R：定子的内周半径

RY：旋转体单元