[发明专利]基于45°光纤的差动光纤珐珀加速度传感器及加工方法有效
| 申请号： | 201510508643.1 | 申请日： | 2015-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN105004882B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 金鹏;刘彬;王健;林杰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明基于45°光纤的差动光纤珐珀加速度传感器及加工方法属于加速度传感器技术领域；该传感器包括一个中间厚，四周薄，上下表面均镀有反射膜的质量块，对称设置在质量块两侧的硅支撑结构，每个硅支撑结构均与质量块构成珐珀腔，在每个硅支撑结构侧面贴靠底部的位置，均有一根研抛端面为45°的光纤插入；该方法首先加工设置有光纤插口的硅支撑结构和上下表面均镀有反射膜的质量块，然后将硅支撑结构顶端与质量块镀有反射膜的面键合在一起，再将光纤从光纤插口插入并调整，最后将光纤插口密封；本发明不仅能够满足贴合于被测物表面使用的技术需求，而且能够解决共轴型非本征型光纤珐珀腔加速度传感器稳定性差的问题，同时还能提高传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 45 光纤 差动 加速度 传感器 加工 方法 | ||
【主权项】：
基于45°光纤的差动式加速度传感器，其特征在于，包括一个质量块(3)，对称设置在质量块(3)两侧的硅支撑结构(1)，每个硅支撑结构(1)均与质量块(3)构成珐珀腔，在每个硅支撑结构(1)侧面贴靠底部的位置，均有一根研抛端面为45°的光纤(2)插入；所述的质量块(3)为中间厚，四周薄的结构，质量块(3)的上表面和下表面均镀有反射膜，质量块(3)的中间设置有圆形凸起。
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