[发明专利]一种芯片显影定影装置在审
| 申请号： | 201510487951.0 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN104977817A | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 滕勇;骆军;彭应龙 | 申请（专利权）人： | 乐山无线电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/40 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 熊晓果;林辉轮 |
| 地址： | 614000 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种芯片显影定影装置，包括：机架，所述机架向上伸出一支撑轴；旋转单元，设置于所述支撑轴顶端并以所述支撑轴为圆心进行旋转；N个升降单元，一端与所述旋转单元连接，另一端连接一芯片承载栏；N个容器，设置于所述机架上，所述容器开口向上且内部盛有显影液或定影液；控制单元，用于控制所述旋转单元、升降单元的运动；承放于所述芯片承载栏内的芯片通过所述升降单元下降进入所述容器进行显影或定影，完成后上升抬离所述容器；其中，N为1以上自然数。本发明采用机械半自动化的生产替代原有手工操作，解决了人工操作易疲劳、操作一致性差、易出现芯片漏显的问题，使芯片生产速率明显提高次品率明显降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 显影 定影 装置 | ||
【主权项】：
一种芯片显影定影装置，包括：机架（1），所述机架向上伸出一支撑轴（11）；旋转单元，设置于所述支撑轴（11）顶端并以所述支撑轴（11）为圆心进行旋转；N个升降单元，一端与所述旋转单元连接，另一端连接一芯片承载栏（8）；N个容器，设置于所述机架（1）上，所述容器开口向上且内部盛有显影液或定影液；控制单元，用于控制所述旋转单元、升降单元的运动；承放于所述芯片承载栏（8）内的芯片通过所述升降单元下降进入所述容器进行显影或定影，完成后上升抬离所述容器；其中，N为1以上自然数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乐山无线电股份有限公司，未经乐山无线电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510487951.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
