[发明专利]一种芯片显影定影装置

权利要求书

1.一种芯片显影定影装置，包括：

机架（1），所述机架向上伸出一支撑轴（11）；

旋转单元，设置于所述支撑轴（11）顶端并以所述支撑轴（11）为圆心进行旋转；

N个升降单元，一端与所述旋转单元连接，另一端连接一芯片承载栏（8）；

N个容器，设置于所述机架（1）上，所述容器开口向上且内部盛有显影液或定影液；

控制单元，用于控制所述旋转单元、升降单元的运动；承放于所述芯片承载栏（8）内的芯片通过所述升降单元下降进入所述容器进行显影或定影，完成后上升抬离所述容器；

其中，N为1以上自然数。

2.根据权利要求1所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述旋转单元包括圆盘（3）及设置所述圆盘上的驱动电机，所述驱动电机用于驱动所述圆盘（3）进行转动。

3.根据权利要求2所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述圆盘（3）上设置有接近开关，用于在芯片显影定影装置复位，在圆盘（3）转到原点时反馈原点信号，使驱动电机停止转动，圆盘（3）停在原点，所述原点为芯片承载栏（8）初始承挂位置。

4.根据权利要求3所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述接近开关为光电接近开关（5）。

5.根据权利要求1所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述升降单元包括气缸和一端连接所述气缸的搅拌电机，所述搅拌电机另一端连接所述芯片承载栏（8），所述气缸用于带动所述搅拌电机及芯片承载栏（8）进入或离开所述容器。

6.根据权利要求5所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述气缸为内置磁环型气缸（6）。

7.根据权利要求6所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述内置磁环型气缸（6）上下两端设置有感应器，用于感应所述气缸的运动位置，并将感应的位置信息传输到所述控制单元。

8.根据权利要求7所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述内置磁环型气缸（6）连接有一电磁阀，所述电磁阀连接一继电器，所述继电器还连接所述搅拌电机；

所述继电器接收所述控制单元信号控制电磁阀的通断电以控制所述气缸的运动，还控制所述搅拌电机的开启与关闭；

所述芯片承载栏在气缸带动下进入所述容器后，气缸停止运动，所述继电器开启搅拌电机。

9.根据权利要求1和8任一项所述的一种芯片显影定影装置，其特征在于，所述控制单元包括可编程逻辑控制器和触摸屏。