[发明专利]显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种显示装置及其制造方法，能够抑制由与密封膜有关的工序导致的对像素电路的不良影响。一种显示装置，在基板上依序形成有像素电路和具有多层结构的密封膜，其中，所述密封膜包含第一层，所述第一层以与所述像素电路接触的方式形成、且由含硅无机材料构成，所述第一层为其至少一部分成分沿着层合方向连续变化的混合成膜。

主权项

1.一种显示装置，在基板上依序形成有包含有机发光元件的像素电路、和在所述有机发光元件上的密封膜，其特征在于，所述有机发光元件形成在所述像素电路的上部，所述密封膜形成在所述有机发光元件上，所述密封膜包含第一层和在所述第一层的上表面的至少一部分上形成的第二层，所述第一层以与所述有机发光元件接触的方式形成，构成所述第一层的下表面的组成为氮化硅或氧氮化硅中的任一种，其中，所述第一层的下表面位于靠近所述有机发光元件的那侧，构成所述第一层的上表面的组成为氧化硅及非晶硅中的任一种，其中，所述第一层的上表面位于远离所述有机发光元件的那侧，所述第二层为树脂材料，所述第一层的组成以氮成分从所述下表面朝向上表面沿着层合方向连续减少的方式变化。