[发明专利]单扫描管驱动的多维压电马达及可搜索扫描探针显微镜有效
| 申请号： | 201510477975.8 | 申请日： | 2015-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN105092896B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陆轻铀 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01Q10/02 | 分类号： | G01Q10/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明单扫描管驱动的多维压电马达，包括XZ压电扫描管、中空滑杆、弹簧片、内套管、滑片、弹簧，内套管平行地套于XZ压电扫描管内，内套管与XZ压电扫描管的一端固定，中空滑杆平行地套于内套管内，弹簧片置于中空滑杆外壁与内套管内壁之间将二者弹性相压，随着XZ压电扫描管的X形变，中空滑杆位移大的一端称为大位移端，另一端称为小位移端，滑片被穿过中空滑杆的弹簧弹性地压于中空滑杆大位移端端口，弹簧的另一端与中空滑杆小位移端固定。当XZ压电扫描管换成XYZ压电扫描管时可实现三维步进。本发明仅用单个压电管即可实现两或三维步进，结构特别简单，且对称性高，漂移小，还能实现小范围的连续扫描定位，特别适合于制作可搜索扫描探针显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 中空滑杆 压电扫描管 内套管 探针显微镜 搜索扫描 压电马达 大位移 弹簧片 扫描管 小位移 步进 弹簧 多维 滑片 平行 三维 弹簧弹性地压 漂移 内套管内壁 驱动 连续扫描 弹性相 压电管 形变 外壁 穿过 制作 | ||
【主权项】：
1.一种单扫描管驱动的多维压电马达，包括：XZ压电扫描管、中空滑杆、弹簧片，内套管，其特征是还包括滑片、弹簧，所述内套管套于XZ压电扫描管之内，二者的轴平行，并且内套管与XZ压电扫描管的一端相固定，该端称为XZ压电扫描管的自由端，XZ压电扫描管的另一端称为其固定端，所述中空滑杆套于所述内套管之内，二者的轴平行，所述弹簧片置于中空滑杆外壁与内套管内壁之间的缝隙中，将二者弹性相压，随着XZ压电扫描管的X形变，中空滑杆位移大的一端称为大位移端，另一端称为小位移端，所述滑片被穿过中空滑杆的弹簧弹性地压于中空滑杆的大位移端端口，该弹簧的另一端与中空滑杆的小位移端固定。
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