[发明专利]铜腐蚀抑制系统

摘要

提供了用于铜(Cu)、钨(W)、钛(Ti)、钽(Ta)、钴(Co)和铝(Al)的金属腐蚀抑制清洗组合物、方法和系统。所述金属腐蚀抑制清洗组合物通过使用两种化学制品—至少一种具有多于一个氨基的多官能胺和至少一种具有多于一个羧酸基团的多官能酸—的组合提供腐蚀抑制作用。所述金属腐蚀抑制清洗组合物有效地清洁源自高密度等离子体蚀刻之后用含氧的等离子体灰化的残余物，及化学机械抛光(CMP)后残留的浆料颗粒和残余物。

主权项

1.金属腐蚀抑制清洗组合物，其包含：1)0.5wt％‑2.0wt％的至少一种多官能酸；2)0.1wt％‑25wt％的至少一种多官能胺；3)余量基本上是液体载体；和任选的4)氟化物源；5)碱；6)金属螯合剂；7)表面活性剂；8)稳定剂；9)腐蚀抑制剂；和10)缓冲剂；其中所述多官能胺是一个分子中具有多于一个氨基的胺或多胺；所述多官能酸是一个分子中具有多于一个羧酸基团的酸或多酸；和所述液体载体选自有机溶剂、水及其组合；其中所述多官能酸是不具有芳族部分的多官能酸；其中所述金属腐蚀抑制清洗组合物的pH为5到10；且所述多官能酸和所述多官能胺中至少一种是非聚合的。