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- [发明专利]一种无磷金属清洗剂-CN202211297944.0在审
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王茂全;王雯
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王茂全
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2022-10-21
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2023-03-14
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C23G1/18
- 本发明属于无磷金属清洗剂技术领域,公开了一种无磷金属清洗剂。本发明通过防锈缓蚀剂制备方法制备的防锈缓蚀剂以植酸、丙烯酰胺、谷氨酸等为原料制得绿色水基防锈缓蚀剂,采用了高效的金属螯合剂、致密的成膜剂以及其他水溶性助剂地科学搭配,原料之间的相容性好,各组分之间相互影响,取得协同作用,进而能够有效减缓金属材料的腐蚀速度,抗腐蚀性能和防锈性能好;防锈缓蚀剂成本低廉、经济环保、使用安全无害,不含亚硝酸盐、六价铬等有毒有害物质,对环境和人体的危害小;同时,通过对搅拌器故障进行诊断方法可以对搅拌器故障进行诊断,提高了故障诊断的精度。
- 一种金属洗剂
- [发明专利]一种化学机械抛光后清洗液的应用-CN202110459939.4有效
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王溯;马丽;史筱超;李健华;王亮
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上海新阳半导体材料股份有限公司
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2021-04-27
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2022-12-30
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C23G1/18
- 本发明公开了一种化学机械抛光后清洗液的应用。具体公开了一种清洗液在清洗化学机械抛光后的半导体器件中的应用,所述清洗液的原料包括下列质量分数的组分:0.01%‑25%强碱、0.01%‑30%醇胺、0.001%‑1%抗氧化物、0.01%‑0.1%多肽、0.01%‑0.1%氨基酸、0.01%‑10%缓蚀剂、0.01%‑10%螯合剂、0.01%‑5%表面活性剂、以及28.9%‑89.9%水,各组分质量分数之和为100%;其中,所述氨基酸为组氨酸和半胱氨酸的组合,所述多肽为还原型谷胱甘肽(肽A)和氧化型谷胱甘肽(肽B)的组合。本发明清洗液清洗能力更强、腐蚀速率更低、BTA去除能力更强、稳定性更好,可同时实现清洗、缓蚀和BTA的去除的效果。
- 一种化学机械抛光清洗应用
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