[发明专利]亮度校正方法及光学检测系统有效
| 申请号： | 201510390024.7 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106289521B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 刘昌明 | 申请（专利权）人： | 创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/10 | 分类号： | G01J3/10 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种亮度校正方法及光学检测系统。亮度校正方法应用于光学检测系统中。光学检测系统包含单光源照射器以及探针卡。单光源照射器用以朝向探针卡照射。探针卡具有多个检测位置。亮度校正方法包含以感测芯片透过多个扩散片其中之一依序在检测位置量测亮度；以感测芯片在检测位置其中之一依序量测扩散片的透明度；以及筛选透明度中较大者所对应的扩散片并分别设置于亮度中较小者所对应的检测位置上方，并筛选透明度中较小者所对应的扩散片并分别设置于亮度中较大者所对应的检测位置上方。借此，根据本发明的亮度校正方法所制造的光学检测系统将可有效地降低光源均匀度、扩散片偏差度与不同检测位置所造成的检测偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 亮度 校正 方法 光学 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种亮度校正方法，其特征在于，应用于一光学检测系统中，该光学检测系统包含一单光源照射器以及一探针卡，该单光源照射器用以朝向该探针卡照射，该探针卡具有多个检测位置，该亮度校正方法包含：以一感测芯片透过多个扩散片其中之一依序在所述检测位置量测亮度；以该感测芯片在所述检测位置其中之一依序量测所述扩散片的透明度；以及筛选所述透明度中较大者所对应的所述扩散片并分别设置于所述亮度中较小者所对应的所述检测位置上方，并筛选所述透明度中较小者所对应的所述扩散片并分别设置于所述亮度中较大者所对应的所述检测位置上方。
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