[发明专利]亮度校正方法及光学检测系统有效
申请号: | 201510390024.7 | 申请日: | 2015-07-06 |
公开(公告)号: | CN106289521B | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 刘昌明 | 申请(专利权)人: | 创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G01J3/10 | 分类号: | G01J3/10 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 亮度 校正 方法 光学 检测 系统 | ||
技术领域
本发明是有关于一种亮度校正方法以及光学检测系统。
背景技术
已知的光学检测系统所使用的单光源照射器通常会有均匀性问题。正常来说,单光源照射器所照射的光线在中央部分的光强度会大于外围部分的光强度。若已知的光学检测系统所使用的探针卡为多待测物(multi-DUT)探针卡,则探针卡的每一个检测位置所接收到的光线的亮度将不尽相同。为了解决此问题,已知的光学检测系统是进一步在每一检测位置上方设置扩散片,以使光线均匀化。
然而,扩散片之间往往也会有表现上的差异(例如透明度上的差异),这取决于制程上的均匀性或批与批之间的偏差。除了上述光源均匀度与扩散片偏差度等两因素之外,若再结合一些边界条件(boundary criteria),将可能使得在不同检测位置的检测结果差异更大,而目前也没有一套可行的规则用来解决此问题。
发明内容
有鉴于此,本发明的一目的在于提出一种可有效解决上述问题的亮度校正方法以及光学检测系统。
为了达到上述目的,依据本发明的一实施方式,一种亮度校正方法应用于光学检测系统中。光学检测系统包含单光源照射器以及探针卡。单光源照射器用以朝向探针卡照射。探针卡具有多个检测位置。亮度校正方法包含:以感测芯片透过多个扩散片其中之一依序在检测位置量测亮度;以感测芯片在检测位置其中之一依序量测扩散片的透明度;以及筛选透明度中较大者所对应的扩散片并分别设置于亮度中较小者所对应的检测位置上方,并筛选透明度中较小者所对应的扩散片并分别设置于亮度中较大者所对应的检测位置上方。
于本发明的一或多个实施方式中,上述的亮度校正方法还包含:计算亮度的均匀度比值;计算透明度的透明度平均值;分别计算透明度相对于透明度平均值的偏差度比值;以及摒弃偏差度比值的绝对值中大于均匀度比值者所对应的扩散片。
于本发明的一或多个实施方式中,上述筛选并设置扩散片的步骤还包含:计算亮度的亮度平均值;计算透明度的透明度平均值;以及筛选透明度中大于透明度平均值者所对应的扩散片并分别设置于亮度中小于亮度平均值者所对应的检测位置上方,并筛选透明度中小于透明度平均值者所对应的扩散片并分别设置于亮度中大于亮度平均值者所对应的检测位置上方。
于本发明的一或多个实施方式中,上述筛选并设置扩散片的步骤还包含:计算亮度的亮度平均值;将透明度由大到小均分为M个透明度群组,其中M为2的倍数;以及筛选透明度群组中排序第N个者所对应的扩散片并分别设置于亮度中小于亮度平均值者所对应的检测位置上方,并筛选透明度群组中排序第N+M/2个者所对应的扩散片并分别设置于亮度中大于亮度平均值者所对应的检测位置上方,其中N为小于等于M/2的正整数。
于本发明的一或多个实施方式中,上述的亮度具有均匀度比值,并且第N个透明度群组的上限值与第N+M/2个透明度群组的下限值的差值是等于或小于均匀度比值的两倍。
依据本发明的另一实施方式,一种光学检测系统包含探针卡、多个扩散片以及单光源照射器。探针卡具有多个检测位置。扩散片分别设置于检测位置上方,其中扩散片分别具有多个透明度。单光源照射器用以朝向探针卡照射,使得照射至扩散片的光线分别具有多个亮度。亮度中较小者所对应的扩散片的透明度较大,并且亮度中较大者所对应的扩散片的透明度较小。
于本发明的一或多个实施方式中,上述的亮度具有均匀度比值。透明度具有透明度平均值。每一透明度相对于透明度平均值具有偏差度比值,并且偏差度比值的绝对值是等于或小于均匀度比值。
于本发明的一或多个实施方式中,上述的亮度具有亮度平均值。透明度具有透明度平均值。亮度中小于亮度平均值者所对应的扩散片的透明度是大于透明度平均值,并且亮度中大于亮度平均值者所对应的扩散片的透明度是小于透明度平均值。
于本发明的一或多个实施方式中,上述的亮度具有亮度平均值。透明度由大到小均分为M个透明度群组,M为2的倍数。亮度中小于亮度平均值者所对应的扩散片的透明度是位于透明度群组中排序第N个者中,亮度中大于亮度平均值者所对应的扩散片的透明度是位于透明度群组中排序第N+M/2个者中,并且N为小于等于M/2的正整数。
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