[发明专利]一种可实时监控应力的MOCVD设备

摘要

本发明公开了一种可实时监控应力的MOCVD设备，包括MOCVD反应腔、可调节高度的显微镜、可实时调节高度的拉曼光纤探头、控制竖直方向Z轴高度的步进电机和驱动器、氮气吹扫部件、拉曼测试部件、控制电脑、CCD，其特征在于所述的MOCVD反应腔中内置可调控高度的显微镜和可实时调控高度的拉曼光纤探头，并在光纤中探头两侧加氮气吹扫部件。通过在外延生长过程中控制电脑计算外延层的厚度，然后，实时调节步进电机和驱动器的位置，保证拉曼激光源的始终处于聚焦样品表面的状态，同时，氮气吹扫部件保证光纤探头不会被污染，从而提升拉曼信号的灵敏度和信噪比，实现外延生长中的实时应力监控。

主权项

一种可实时监控应力的MOCVD设备，包括可调节高度的显微镜、可实时调节高度的拉曼光纤探头、控制竖直方向Z轴高度的步进电机和驱动器、氮气吹扫部件、拉曼光源的激光器、拉曼测试部件、控制电脑和CCD，所述可调节高度的显微镜和可实时调节高度的拉曼光纤探头内置于MOCVD反应腔中，并在可实时调节高度的拉曼光纤探头两侧加氮气吹扫部件。