[发明专利]一种有效改善铸造多晶硅锭质量的方法在审
| 申请号： | 201510365350.2 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN104894642A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 刘晓兵;赵福祥;张芳芳;沈健;徐世永;金起弘 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种有效改善多晶硅锭晶体质量的方法，多晶硅铸锭过程中，测定不同生长阶段多晶硅晶体生长的高度，表征出晶体硅不同高度时的缺陷群面积大小及形态；根据晶体不同生长时间段缺陷群的变化规律，找出晶体快速增殖阶段，有针对性地调节该阶段的铸锭工艺，从而降低缺陷群增殖速度。本发明方法有效抑制了多晶铸锭过程中，缺陷群的快速增殖，从而有效提升了整改硅锭的晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有效 改善 铸造 多晶 质量 方法 | ||
【主权项】：
一种有效改善铸造多晶硅锭质量的方法，其特征是：多晶硅铸锭过程中，测定不同生长阶段多晶硅晶体生长的高度，表征出晶体硅不同高度时的缺陷群面积大小及形态；根据晶体不同生长时间段缺陷群的变化规律，找出晶体快速增殖阶段，有针对性地调节该阶段的铸锭工艺，从而降低缺陷群增殖速度。
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