[发明专利]六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法有效
申请号: | 201510354323.5 | 申请日: | 2015-06-24 |
公开(公告)号: | CN105177718B | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 申健;张丹;庞春玲;张飞虎;甘阳 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22;C30B33/10;C30B29/20 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 侯静 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法,它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作六边角锥体的问题。本方法如下:将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中,将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀,然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片,再氮气吹干,即得六边角锥体图形化蓝宝石。本发明的六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为六边角锥体图形化蓝宝石,且生成的六边角锥体图形化蓝宝石规则有序,重复性好。且采用的设备简单,操作方便,易于掌握,过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。 | ||
搜索关键词: | 图形化蓝宝石 边角 锥体 制备 蓝宝石 预处理 蓝宝石表面 氮气吹干 干法刻蚀 高温湿法 过程安全 混合溶液 去离子水 石英烧杯 有效地 刻蚀 石英 冲洗 花篮 制作 转化 | ||
【主权项】:
1.六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法,其特征在于六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法是通过以下步骤实现的:一、预处理:在室温下,将圆锥形图形化蓝宝石片置于乙醇中浸泡12h,然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片,再氮气吹干;二、将经步骤一处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中,将石英烧杯中混合溶液A升温至240℃,其中混合溶液A为微量过氧化氢、磷酸和硫酸混合液,磷酸与硫酸的体积比为1∶1,步骤二中过氧化氢与硫酸的体积比为1∶100,将载有圆锥形图形化蓝宝石片的石英花篮放入石英烧杯中,高温湿法刻蚀23min;三、将经步骤二处理后的图形化蓝宝石片从石英烧杯中取出,然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片,再氮气吹干;步骤二中的浓硫酸和过氧化氢为市售产品,浓硫酸的质量百分浓度为98%,双氧水为质量百分浓度为30%的市售双氧水,磷酸为质量百分浓度为85%的市售磷酸 ;步骤一至步骤三中均采用美国GE石英材料仪器。
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