[发明专利]剥离发光组件衬底的方法和装置在审
| 申请号： | 201510351120.0 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104979438A | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 谭振贤 | 申请（专利权）人： | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;B23K26/36;B23K26/073 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 528226 广东省佛山市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种剥离发光组件衬底的方法和装置，包括：提供待剥离的发光组件，所述发光组件包括第一衬底、位于所述第一衬底一侧的氮化镓外延层和金属衬底，所述氮化镓外延层包括N型氮化镓层、有源层和P型氮化镓层；采用激光发生器对所述第一衬底进行激光剥离，其中，所述激发发生器出射激光的路径上具有孔径光阑，以通过所述孔径光阑来调整所述激光的光斑大小，进而可以采用尽可能小的光斑进行激光剥离，使得局部产生的氮化物较少，以提高衬底剥离的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 发光 组件 衬底 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种剥离发光组件衬底的方法，其特征在于，包括：提供待剥离的发光组件，所述发光组件包括第一衬底、位于所述第一衬底一侧的氮化镓外延层和金属衬底，所述氮化镓外延层包括N型氮化镓层、有源层和P型氮化镓层；采用激光发生器对所述第一衬底进行激光剥离，其中，所述激发发生器出射激光的路径上具有孔径光阑，以通过所述孔径光阑来调整所述激光的光斑大小。
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